تاریخ:
تجربه متفاوت بازی قارچ خور با شخصیت کنترا (+فیلم) 
درس شصت و سه
ماسکهای نانویی برای لیتوگرافی در صنعت نیمههادی تولید میشود
یک شرکت ژاپنی با همکاری مرکز نوآوری نانوالکترونیک IMEC بلژیک در حال کار روی ارائه نسل بعدی ادوات لیتوگرافی است. این همکاری راهبردی در مسیر تجاریسازی یکی از مؤلفههای اصلی سامانههای لیتوگرافی نیمههادی با پرتوهای فرابنفش شدید (EUV) است.
در این پروژه مشترک قرار است روی غشاهای شفاف و نازک EUV تمرکز شود که نوعی ماسک EUV در برابر آلودگی است. مشارکت شرکت Mitsui Chemicals ژاپن و IMEC بلژیک به گونهای برنامهریزی شده است که ماسکهای مبتنی بر نانولولههای کربنی در بازه زمانی سالهای ۲۰۲۵ تا ۲۰۲۶ به مرحله تجاریسازی برسند.
به گزارش ایسنا، با افزایش نیاز به ایجاد محصولاتی با ابعاد کوچکتر و متراکمتر در مدارهای الکترونیکی، لیتوگرافی EUV به شدت مورد توجه شرکتها قرار گرفته است.
بازار تجهیزات لیتوگرافی EUV تا حد زیادی در اختیار شرکت هلندی ASML است که ماشینآلات پیشرفته و پیچیدهای را تولید کرده و به فروش میرساند. این دستگاهها پرتوهای فرابنفش ۱۳٫۲ نانومتری تولید کرده که این کار با استفاده از شلیک پالسهای مکرر لیزر CO2 بر روی قطرات قلع مذاب انجام میشود و باعث ایجاد پلاسمایی میشود که تابش فرابنفش شدید ایجاد میکند.
تابش EUV از طریق اپتیک خاصی به یک اسکنر برای الگوبرداری لیتوگرافی در مقیاس نانومتر منتقل میشود. اندازه بسیار کوچک از ویژگیهای ساختارهای ایجاد شده توسط این روش است، هر چند که آلودگی میتواند مشکلاتی برای کاربر ایجاد کند و هزینه گزافی را به تولیدکنندگان تحمیل کند. در نتیجه نیاز به ماسکهای محافظ وجود دارد که شرکت ASML برخی از ماسکهای مورد نیاز شرکتها را تولید میکرد.
در این پروژه مشترک، دو شرکت ژاپنی و بلژیکی روی ارائه نسل جدید ماسکهای حاوی نانولولهکربنی کار میکنند که میتواند نانولیتوگرافی با کیفیت بالا را امکانپذیر کند. براساس اطلاعات منتشر شده توسط این گروه، ماسکهای حاوی نانولولهکربنی میتواند انتقال پرتو تا ۹۴ درصد را تضمین کرده و مقادیر بسیار کمی از پرتوها منعکس میشوند.
به نقل از ستاد نانو، این ماسکهای نانویی میتوانند در برابر سطح قدرت EUV فراتر از ۱۰۰۰ W قرار بگیرند. این ماسکها نه تنها در برابر تابش فرابنفش شدید در لیتوگرافی شفاف بوده، بلکه به طول موجهای فرابنفش عمق (DUV) که در برخی از سیستمهای بازرسی و کنترل کیفیت نتایج لیتوگرافی استفاده میشود، قابل استفاده است.
لینک کوتاه: کپی لینک
مرینوی ناجی؛ اسپانیا با شکست بلژیک، قرار موعود با فرانسه را قطعی کرد جلیلی: برخی معتقدند اگر بخواهیم مسیر انتقام را پیش ببریم باید به جنگ ادامه داد/ نمیتوان در سایه «نه جنگ نه صلح» به وضعیت ادامه داد تاکید امیر قطر و شهباز شریف بر لزوم تداوم مذاکرات تهران و واشنگتن نوه امام خمینی: هرکس بخواهد مذاکره کند برای اینکه به صلح با آمریکا برسد، خائن است ۱۷ شهید و ۱۱۵ مصدوم در حملات اخیر آمریکا به ایران سخنگوی وزارت خارجه: ایران هیچ درخواستی برای مذاکره با آمریکا نداشته است اسپانیا حریف فرانسه در نیمهنهایی شد سید احمد خاتمی: اجتماعات ماه های اخیر در کشورمان محدود به یک قشر، صنف یا سلیقه خاص نبوده و نیست اوکراین یک مرکز فرماندهی «دوربرد» برای حمله به روسیه ایجاد کرد صداوسیمای مشهد، مجری ندارد؟ محمدرضا احمدی رسما از تلویزیون جدا شد مک لارن 788HS؛ یک خودروی نهایی محدود به 200 دستگاه (+تصاویر) واکنش غریبآبادی به نقش امارات در حمله آمریکا به ایران: امارات باید پاسخگو باشد بازآفرینی «تاج محل» با سبک 13 معمار مشهور جهان / از زها حدید تا آنتونی گائودی (تصویری) آتشسوزی نیروگاه تبریز/ استانداری: تکذیب حمله